Erklärung zur Kontamination

Dekontamination

Bitte beachten Sie, dass zum Schutz unserer Mitarbeiter keine Arbeiten durchgeführt werden, bis eine korrekt ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt!

Sehr geehrter Kunde:

Sie möchten ein Produkt zur Wartung oder Reparatur einsenden. Das Produkt muss dafür in unserem Service-Center von einem Techniker zerlegt und gereinigt werden. Wir bitten Sie die Erklärung zur Kontaminierung vollständig auszufüllen, um unsere Service Mitarbeiter vor gesundheitlichen Schädigungen durch kontaminierte Produkte zu schützen.

Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt und unterschrieben werden. Füllen Sie bitte die vorliegende Erklärung zur Kontaminierung aus und legen Sie die gedruckte Form Ihren Lieferpapieren bei. Die Wartung oder Reparatur von Produkten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung zur Kontaminierung vorliegt. Ist das nicht der Fall, werden die entsprechenden Arbeiten verzögert bzw. nicht ausgeführt. Für jedes Produkt ist eine eigene Erklärung abzugeben.

Sollten Sie sich nach der Vorlage und Kontrolle eines Angebots dazu entscheiden, die Reparatur nicht durchführen zu lassen, werden Ihnen die Kosten für die Dekontaminierung, Zerlegung, Reinigung und die Berechnung des Angebots in Form einer Servicegebühr in Rechnung gestellt. Mit der Einsendung des Produktes in unser Service Center genehmigen Sie uns, das Produkt teilweise für die Inspektion und die Fehleranalyse zu demontieren. Die Demontage des Produktes kann ältere Verschleißteile, wie Dichtungen oder Lager, dauerhaft schädigen. Wenn das Produkt anschließend unreparabel erscheint oder Sie die Reparatur ablehnen und die Rücksendung des Produktes anfordern, können wir einen Zusammenbau zum eingesandten Betriebszustand nicht gewährleisten.

Bitte beachten Sie folgendes:

Alle Öffnungen des Produktes (Einlass- und Auslassflansch) müssen mit metallischen Blindflanschen luftdicht verschlossen sein. Dies gilt insbesondere beim Einsatz des Produktes mit toxischen Gasen oder Chemikalien für die Abscheidung oder das Ätzen von Kupfer. Gefahren können von folgenden Ursachen ausgehen:

  1. Chemisch: Gesundheitsrisiken für Personen, Explosions- und Brandgefahr, Gefahren für die Umwelt. Wir möchten Sie bitten, uns die chemische Formel und die Bezeichnung der Gase bzw. der Substanzen, mit denen das Produkt (Pumpe oder mechanisches Zubehör, Messgerät oder Lecksuchgerät…) in Berührung gekommen ist, genauestens anzugeben.
  2. Biologisch, explosiv, radioaktiv: Im Falle einer Kontaminierung ist unser Service Center gegenwärtig nicht in der Lage, ein derartig kontaminiertes Produkt zu dekontaminieren.
  3. Kupferkontamination: Kupferhaltige Nebenprodukte, die in Abscheide- oder Trockenätzprozessen erzeugt werden, werden in einer Reihe von Halbleiterproduktionsprozessen als schädliche Verunreinigung behandelt. Hierfür ist eine spezielle Behandlung erforderlich, welche zusätzliche Kosten erzeugen kann.

Wir bitten Sie im Falle einer chemischen Kontamination, die Art der Gase bzw. folgende Substanzen anzugeben:

  • Gase (oder Substanzen), die dem Reaktor zugeführt werden und die sich im Auslass befinden
  • Gase (oder Substanzen), die bei der Reaktion oder im Laufe des Verfahrens entstehen
  • Gase (oder Substanzen), die sich möglicherweise in der Pumpe bilden können, (durch eine thermodynamische Reaktion, eine chemische Reaktion, durch Kondensation, Ablagerung, Ausfällen, etc…) Vielen Dank für Ihr Verständnis.

Nachdem alle erforderlichen Felder ausgefüllt wurden, kann eine PDF Datei erstellt und heruntergeladen werden.

Mit * gekennzeichnete Felder müssen ausgefüllt werden.

1. Art des Vakuumgerätes /der -komponente
2. Grund für die Einsendung
3. Zustand des Vakuumgerätes /der -komponente
4. Einsatzbedingte Kontaminierung des Vakuumgerätes / der -komponente
5. Art der Schadstoffe oder prozessbedingter, gefährlicher Reaktionsprodukte, mit denen die Vakuumgeräte und - komponenten in Kontakt kamen
Handelsname, Produktname,
Hersteller
Chemische Bezeichnung (Formel) Gefahrenklasse Maßnahmen bei Freiwerden der Schadstoffe Erste Hilfe bei Unfällen
6. Rechtsverbindliche Erklärung

Wir versichern, dass die Angaben in dieser Erklärung wahrheitsgemäß und vollständig sind und ich als Unterzeichner in der Lage bin, dies zu beurteilen. Uns ist bekannt, dass wir gegenüber dem Auftragnehmer für Schäden, die aus unvollständigen und unrichtigen Angaben resultieren, haften; wir verpflichten uns entsprechend, den Auftragnehmer von Schadensersatzansprüchen Dritter freizustellen. Uns ist weiter bekannt, dass wir, unabhängig von dieser Erklärung, gegenüber Dritten - wozu insbesondere die mit der Handhabung/Reparatur des Produkts betrauten Mitarbeiter des Auftragnehmers gehören - direkt haften.