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Dekontamination von Vakuumkomponenten
nach neuesten Standards und zertifiziert nach KrW-/AbfG
DEKONTAMINATION
Eine Vielzahl von Prozessen im Vakuum beinhaltet die Nutzung toxischer Verbindungen oder die Entstehung von
gefährlichen Reaktionsprodukten. Vakuumkomponenten die in solchen Prozessen genutzt werden, müssen vor dem
Wartungs- oder Reparaturvorgang von allen Giftstoffen befreit werden, damit keine Gefahr für das Servicepersonal
entsteht. DREEBIT stellt dafür eine zertifizierte Dekontaminationseinrichtung nach neuesten Standards bereit.
Bitte nutzten Sie für die Einsendung von Vakuumgeräten bitte unser Anfrage / RMA Formular. Im Anschluss
kontaktieren wir Sie und stellen ihnen alle Dokumente zur Verfügung, welche Sie für die Einsendung Ihres Gerätes
benötigen.
Ein Höchstmaß an Sicherheit
Sämtliche zur Dekontamination notwendigen Arbeiten werden unter besonderen Sicherheitsmaßnahmen durchgeführt:
- Vollschutzanzüge zur einmaligen Verwendung
- Externe Frischluftzufuhr
- Spezielle Abluftfiltersysteme
- zertifiziert nach KrW-/AbfG
Separate Kupfer-Dekontaminationsstrecke
Insbesondere in der Halbleiterproduktion werden Komponenten in Kupfer-Prozessen eingesetzt. Eine Vermengung von Teilen aus Kupfer- und Nicht-Kupferprozessen kann jedoch zu Querkontaminationen führen und damit Prozesse negativ beeinflussen. Um dies zu verhindern, werden Komponenten aus Kupfer-Prozessen getrennt behandelt.
DREEBIT stellt für die Dekontamination von Pumpen und Bauteilen aus Cu-Prozessen eine getrennte Dekontaminationseinrichtung zur Verfügung.